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Astera™ 液体用 フィルター

Astera™ (アステラ) 液体用フィルターは、ウェーハの歩留まりを向上させ、ディフェクトを低減させる高純度な希酸および希アルカリ用のソリューションです。

  • 孔径 10 nm の PAS 製メンブレンは、薬液の純度を高め、ウェーハ上のパーティクルを低減
  • 純水プレウェット仕様により、素早い立ち上げが可能、ダウンタイムの短縮と生産リリースを迅速化
  • 高流量なメンブレンは、高速な洗浄と薬液置換が可能で、ダウンタイムの短縮と生産リリースを迅速化
  • 表面処理をしていないメンブレンは、すべての pH レベルで優れた除粒子性能を発揮し、希釈水溶液を使用する複数のアプリケーションに単一の製品で対応できるため、フィルター在庫の削減が可能
  • 金属を低減するための標準的なフィルター洗浄プロセスにより、フィルターのばらつきを抑制し、必要なダウンタイムの予測が可能
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