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ガスフィルター

ニッケル、ステンレス スチール、アロイ-22、または PTFE 製のメンブレンフィルター技術

インテグリスの超高純度ガス用フィルター製品は、0.0015 µm の粒子除去が可能で、超高純度のガスに対応しています。 Wafergard® (ウェハーガード) インラインガスフィルターは、プロセスガスのスループットを増やし、ガスボックス全体の面積を削減できます。

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The History of Gas Filtration

Rob Zeller, research engineering, explains what a gas filter is, the history of gas filtration, and their introduction into highly-specialized semiconductor chip manufacturing applications that require stringent cleanliness specifications to maintain productivity and yield. Runtime: 8:32

その他の ガスフィルター

Wafergard® (ウェハーガード) GNガスフィルターガンは、使いやすく軽量な使用点(POU)用ガスフィルターガンです。インテグリス独自設計のこのフィルターガンは、でさまざまなプロセスでご使用いただけます。 
PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

インテグリスのガスフィルターは、圧力損失を最小限に抑え、フィルターの寿命を最大化した優れたろ過性能を有します。インラインガスフィルターは、Wafergard® (ウェハーガード)、Linegard™ (ラインガード) の各シリーズからお選びいただけます 
ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

インテグリスは、ステンレススチール製のメンブレンとハウジングを使用した高圧・高温アプリケーション向けの各種フィルターを提供しています。 
ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

インテグリスの高純度ニッケルメンブレン製フィルターは、高圧、高温アプリケーション向けのクリーンで効率的なガスフィルターです。 
集積 ガスフィルター

Wafergard® (ウェハーガード) シリーズのＣシール,Wシールの集積フィルターは、業界最高水準の製品です。フィルター部は、ステンレススチール製またはニッケル製で、最高レベルのプロセス保護性能と優れた耐腐食性を有し、不活性ガス、ハイドライドガス、反応性の高いガスにも対応可能です。 
インライン アロイ 22 ガスフィルター

Wafergard® (ウェハーガード) IV アロイ 22 (一般ブランド名: HASTELLOY® (ハステロイ) C-22® ALLOY) 製フィルターは、腐食性ガスや超高純度ガスに最適なクリーンなオールメタルフィルターです。
ベント用ガスフィルター

インテグリスのガスフィルターは、ライフ サイエンス、マイクロエレクトロニクス、食品・飲料、その他さまざまな用途における効率的な汚染管理のための優れた粒子除去を提供します。 
Bulk Gas Filters and Housings

Compatible with a wide range of bulk gases, including CDA N2, Ar, O2, H2, and He. Each solution is designed based on the flow, supply pressure, and incoming supply purity.